Nrog kev nce qib nroos ntawm cov txheej txheem semiconduct, qhov dav ntawm cov microns hlau tau nce los ntawm cov hom phiaj sputtering siv los ua cov hlau hlau. Thaum lub hom phiaj sputtering tsis txhob tshwm sim ncaj qha rau hauv cov khoom kawg, lawv txiav txim siab ua haujlwm kawg, tawm los, thiab kev ntseeg tau ntawm txhua nti. Txhua qhov kev tsim kho hauv nti hauv nti, txhua qhov iteration hauv cov thev naus laus zis, thiab txhua txoj kev nce qib hauv kev siv tshuab thev naus laus zis ntau dua ntawm cov hom phiaj sputtering.
Semiconductor sputtering lub hom phiaj. Siv hlauetron sputtering thev naus laus zis, qhov siab- Lub zog Atoms, ua rau lub hom phiaj tso tawm, ua rau muaj kev sib dhos ua ke.
Lub hauv paus ntsiab lus ua haujlwm yog los tsim lub tshuab nqus tsev nyob hauv PVD cov cuab yeej, sau rau cov roj av (feem ntau arterize kom ionize nws los ua tus ntshav. Ua kom nrawm nrawm los ntawm cov hluav taws xob teb, cov Argon ions thaiv lub hom phiaj nrog lub zog tsis tshua muaj zog. Los ntawm kev hloov pauv, atoms lossis lwg me me ntawm lub hom phiaj yog "sputtered" tawm. Cov sputtered hais no, zoo li cov meej atomic - scale "snight one
Lawv yog cov tub ntxhais tseem ceeb rau kev tawm tsam, teeb liab kis, thiab kev sib cuam tshuam. Nws cov yam ntxwv tseem ceeb suav nrog ultra - kev ua kom zoo dua qub, thiab qib siab} Hauv lub semiconductor kev lag luam kev lag luam, cov phiaj xwm sputtering feem ntau siv cov khoom tseem ceeb txhawb cov txheej txheem siab tshaj plaws (xws li cov hauv qab no 7nm).
Sputtering technology tau hloov zuj zus ntau xyoo, los ntawm nws tam sim no yooj yim rau lub xeev muaj tseeb thiab nyuaj. Niaj hnub nimno sputtering cov txheej txheem pab kom atomic omieces, thiab microsterural kev cai lij choj, thiab microstring willenly nruj li cov txheej txheem tshaj plaws. Piv txwv li, hauv cov txheej txheem ntawm 7nm thiab hauv qab no, kev sib xws ntawm cov yeeb yaj kiab nyias nyias tso nyiaj los ntawm cov lus foob yuav tsum khaws cia kom muaj ntau yam tsawg; Txwv tsis pub, nti kev ua haujlwm yuav raug cuam tshuam loj heev.
